產品用途
MX-8半導體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學系統，具有大視野、成像質量高、功能擴展性強(明場/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點；同時配有長工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動的大行程載物臺，最大支持8寸晶圓及液晶面板的檢查，含4、6、8英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業器件的檢驗。
產品特點
? 多檔分光比觀察頭設計：采用寬光束成像系統設計，最大觀察視野，支持25-26.6mm，帶給你全新的大視野體驗。正像，保證樣品的移動方向與您通過目鏡觀察到的方向一致，是操作更加得心應手。
? 安全、穩重的機架結構設計: 工業檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統，長時間使用也不會使機架過熱
? 長工作距金相物鏡：配置全套專業半復消色差金相物鏡，采用高透過率鏡片和先進的鍍膜技術，使整個視場內的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。長工作距設計，可有效避免用戶在切換時物鏡與樣品發生碰撞。50X物鏡的有效工作距離7.9mm，100X物鏡的有效工作距離也達到了2.1mm，更有20X超長工作距金相物鏡，大幅拓展了MX機型的應用領域。同步設計了全套明暗場兩用物鏡，暗場照明亮度比傳統暗場物鏡提高2倍以上。
? 高性能物鏡轉換器: MX8轉換器采用精密軸承設計，轉動手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據需求可配置不同孔位的轉換器
產品規格
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規格參數
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MX-8
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光路系統
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無限遠色差校正光學系統
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●
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觀察方式
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明場/暗場/偏光/DIC觀察模式(選配)
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○
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜；瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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正像,視度調節±5°；兩檔分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目鏡
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高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ25mm)/可帶十字分劃板
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●
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無限遠長工作距明暗場半復消色差金相DIC物鏡
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倍率
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數值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×-DIC
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0.15
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13.5mm
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10×-DIC
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0.3
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9.00mm
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20×-DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數
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50×-500×
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●
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物鏡轉輪(DIC)
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內定位5孔明暗場轉換器(帶DIC插槽)
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●
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載物臺
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右手位 8英寸三層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節
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●
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平臺面積525mmX330mm，移動范圍：210mmX210mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內的快速移動
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玻璃載物臺板
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調焦機構
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反射式機架：前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統，帶光亮度設定按鈕與復位按鈕
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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明暗場裝置
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帶明暗場觀察切換裝置與明暗場照明切換裝置
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●
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反射照明系統
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柯拉照明系統，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調
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●
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帶斜射照明裝置
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100-240V寬電壓,12V/100W鹵素燈，明暗場反射照明器
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透射照明系統
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內置5W暖色LED透射光照明系統，上下光可獨立控制
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●
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數碼成像系統
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高質量0.5X
CCD可調焦適配鏡
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●
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Puda2000萬制冷型進口芯片數字顯微鏡攝像機(芯片型號：Sony
IMX183 芯片大小：1”（13.056 * 8.755 mm）像素大小：2.4 * 2.4 μm最大分辨率：2000萬像素幀速：5fps@5440 *
3648 10fps@4096 * 2160 15fps@2736*1824 曝光時間：0.06ms-1hG光靈敏度：462mv with 1/30s/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/
Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現/雙級半導體深度制冷系統，低于環境溫度50度以下，精準可控))
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Puda
ImageView專業的圖像處理軟件（專業的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機控制/視頻操作/圖像處理/圖像測量/圖像融合(景深擴展)/圖像拼接/清晰度對焦因子/動態圖像灰度值定標(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性)
/插件功能)）
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可升級配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標配、○為可升級配件
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樣品實圖示例：
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