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    它可以從樣品表面觀察形貌獲得多方面資料。在掃描電子偏光顯微鏡中，因為可以利用入射電子和樣品相互作用所產生的各種訊號來構成掃描電子像。因此，借助于成像訊號本身的性質和訊號處理方法，既可獲得“無陰影照明性質”的電子像，即二次電子像，也可以獲得“帶陰影照明性質”的電子像，即背散射電子像。

    既可采用從兩對稱方向所接收背散射電子訊號相加的辦法獲得單純表征元素分布的成分像，也可以采用從兩對稱方向所接收背散射電子訊號相減的方法獲得單純表征高低不平的凹凸像，既可以獲得強調表觀部分的電子像，發射型電子像，也可以獲得強調深坑部分的電子像，吸收電子像。

    由此可見，采用掃描電子偏光顯微鏡可以從樣品的表面形貌獲得多方面的資料。